中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司利用10年时间攻克了生产干式真空泵的“卡脖子”技术，投资10亿元，在南通高新区设立全资子公司中科仪（南通）半导体设备有限责任公司，新建干式真空泵产业化建设项目，以推动研究成果转化，改变国内现今还依赖进口的窘境。项目达产后，可年产干式真空泵20040台套。
信息来源： 通州日报
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司利用10年时间攻克了生产干式真空泵的“卡脖子”技术，投资10亿元，在南通高新区设立全资子公司中科仪（南通）半导体设备有限责任公司，新建干式真空泵产业化建设项目，以推动研究成果转化，改变国内现今还依赖进口的窘境。项目达产后，可年产干式真空泵20040台套。
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